特許
J-GLOBAL ID：200903054881635770
ターボ分子ポンプ駆動用電源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
喜多 俊文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-369994
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172292
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】ターボ分子ポンプ内のモータおよびヒータに供給する最大電力消費量を大幅に削減できるターボ分子ポンプ駆動装置を提供する。【解決手段】電力監視手段15からの電力モニター信号をうけた供給電力計算手段13は、ターボ分子ポンプ1のモータ2の回転速度が加速中であることを判断すると、ヒータ5への供給電力を現在供給している電力量からモータ2に供給している電力相当分を差し引くようヒータ制御手段14に出力し、モータ2およびヒータ5双方のトータル電力量が予め定めた上限値を越えないよう制御する。この制御により、これまでモータ2とヒータ5がそれぞれ個別に電力制御されていた従来のターボ分子ポンプ駆動用電源装置6に比較し、最大電力量を大幅に削減できるため、電源設備の大幅なコストダウンに寄与できるとともにターボ分子ポンプ1のランニングコストを軽減することができる。
請求項（抜粋）：
排気機能を有するターボ機構のロータを回転駆動するモータとターボ分子ポンプを加熱するヒータを有するターボ分子ポンプに電力を供給する電源装置において、モータに供給するモータ駆動用電力と同等の電力分をヒータに供給する温度制御用電力から差し引くための電力監視手段を設け、この電力監視手段によって電力の供給を一定以下に制御するようにしたことを特徴とするターボ分子ポンプ駆動用電源装置。
Fターム (7件)：
3H031DA02
, 3H031EA01
, 3H031EA09
, 3H031EA13
, 3H031EA14
, 3H031EA16
, 3H031FA40
