特許

J-GLOBAL ID：200903054917250527

X/Yステージのレーザ光線測定方法及びX/Yステージ

発明者： 橋田 茂 ,  小野 裕 ,  小泉 豊
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334653
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153984
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】X/Yステージを構成する格子プラテン部上を動くスライダ部の原点復帰用スリット板に設けた2個のスリットのそれぞれによるレーザ光線の反射光の干渉からレーザ光線の劣化現象を測定するようにする。【解決手段】X軸方向とY軸方向にレーザ光線を照射し、その照射した反射光の干渉により位置決めをしながら動くと共に、原点復帰用スリット板のスリットを利用して原点復帰動作をするスライダであって、原点復帰用スリット板には、平行且つ同一スリット幅の少なくとも2個のスリットを設け、この2個のスリットのそれぞれが同一検出素子により位置決めした原点位置からのレーザ光線の反射光の干渉差からレーザ光線の波長を測定する。

請求項（抜粋）：

X軸方向とY軸方向にレーザ光線を照射し、その照射した反射光の干渉により位置決めをしながら動くと共に、原点復帰用スリット板のスリットを利用して原点復帰動作をするスライダであって、前記原点復帰用スリット板には、平行且つ同一スリット幅の少なくとも2個のスリットを設け、該2個のスリットのそれぞれが同一検出素子により位置決めした原点位置からのレーザ光線の反射光の干渉差からレーザ光線の波長を測定することを特徴とするX/Yステージのレーザ光線測定方法。

Fターム (8件)：

2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB12 ,  2F078CB13 ,  2F078CB16 ,  2F078CC02 ,  2F078CC14

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 波長測定器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-101139   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-007820   出願人：株式会社マコメ研究所
• ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-318615   出願人：キヤノン株式会社