特許

J-GLOBAL ID：200903054952057314

レーザー加工用保護シート及びこれを用いたレーザー加工品の製造方法

発明者： 浦入 正勝 ,  日野 敦司 ,  松村 健 ,  山本 昌司
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-430451
公開番号（公開出願番号）：特開2005-186109
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

【課題】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する場合に、分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制することのできるレーザー加工用保護シートを提供すること。また、前記レーザー加工用保護シートを用いたレーザー加工品の製造方法を提供すること。【解決手段】 レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用保護シートであり、前記保護シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、かつ基材のエッチング率(エッチング速度/エネルギーフルエンス)が0.4〔(μm/pulse)/(J/cm2 )〕以上であることを特徴とするレーザー加工用保護シート。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レーザー光の紫外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用保護シートであり、前記保護シートは、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられているものであり、かつ基材のエッチング率(エッチング速度/エネルギーフルエンス)が0.4〔(μm/pulse)/(J/cm2 )〕以上であることを特徴とするレーザー加工用保護シート。

IPC (1件)：

B23K26/18

FI (1件)：

B23K26/18

Fターム (8件)：

4E068AE01 ,  4E068AF01 ,  4E068CF03 ,  4E068CG05 ,  4E068DA10 ,  4E068DA11 ,  4E068DB12 ,  4E068DB13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ダイシングシート及びダイシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-148273   出願人：リンテック株式会社
• レーザーダイシング用粘着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-120864   出願人：古河電気工業株式会社

審査官引用 (1件)

• レーザを用いたグリーンシート穴あけ加工方法及び加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-012830   出願人：住友重機械工業株式会社