特許

J-GLOBAL ID：200903054986016072

多孔質フィルタ挿入体及び突出したボンディング面を備えたペリクルフレームのための方法及び装置

発明者： ジョセフ ラガンザ ,  ジョルジュ イーヴァルディ ,  フローレンス ルオ
出願人/特許権者： エーエスエムエル ホールディング ナームローゼ フェンノートシャップ
代理人 (4件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-410497
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191986
出願日： 2003年12月09日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】フォトリソグラフィにおいて酸素によって吸収される波長を含む放射が酸素によって吸収されないようにするために、レチクルとペリクルとの間のエアギャップ内の酸素をパージするための装置及び方法を提供することである。【解決手段】第1及び第2の向かい合った面を規定するフレーム206が設けられており、ペリクル108とレチクル104との間の光学ギャップ112を包囲するように、第1の向かい合った面320が、第1の開口を規定しておりかつペリクルと係合するように形成されており、第2の向かい合った面322が、第2の開口を規定しておりかつレチクルと係合するように形成されており、フレームの少なくとも1つの縁部が、該縁部を貫通した開口を有しており、フレームの少なくとも1つの縁部における開口を充填した多孔質焼結材料が設けられており、光学ギャップがパージされることができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィシステムにおいてペリクルとレチクルとの間の光学ギャップを維持するための装置において、 第1及び第2の向かい合った面を規定するフレームが設けられており、ペリクルとレチクルとの間の光学ギャップを包囲するように、前記第1の向かい合った面が、第1の開口を規定しておりかつペリクルと係合するように形成されており、前記第2の向かい合った面が、第2の開口を規定しておりかつレチクルと係合するように形成されており、前記フレームの少なくとも1つの縁部が、該縁部を貫通した開口を有しており、 前記フレームの前記少なくとも1つの縁部における前記開口を充填した多孔質焼結材料が設けられており、光学ギャップがパージされることができることを特徴とする、フォトリソグラフィシステムにおいてペリクルとレチクルとの間の光学ギャップを維持するための装置。

IPC (3件)：

G03F1/14 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F1/14 K ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 502P

Fターム (4件)：

2H095BA02 ,  2H095BC37 ,  2H095BC38 ,  2H095BC39

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開昭61-018956
  
• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-379723   出願人：信越化学工業株式会社
• 露光装置およびペリクル空間内ガス置換方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-349568   出願人：キヤノン株式会社
• フォトマスク用ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-211893   出願人：沖電気工業株式会社
• ペリクル及びその製造方法及びフォトマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-383205   出願人：信越化学工業株式会社
• ペリクル及びペリクル装着フォトマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-113380   出願人：旭硝子株式会社