特許
J-GLOBAL ID:200903055047824286

極低温冷却装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 高矢 諭 ,  牧野 剛博 ,  松山 圭佑
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-190886
公開番号(公開出願番号):特開2005-024184
出願日: 2003年07月03日
公開日(公表日): 2005年01月27日
要約:
【課題】冷凍機に起因する振動が、クライオスタット全体や被冷却体に伝わるのを防止する。【解決手段】冷凍機10のコールドヘッド18を、クライオスタット30とは別に設けたサポートステージ50に固定して、その荷重を支持すると共に、被冷却体8の荷重を支持する低振動ステージ41、42を、クライオスタット30のトップフランジ31に固定する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
冷凍機を用いて冷却されるクライオスタットを備えた極低温冷却装置において、 冷凍機のコールドヘッドが固定され、その荷重を支持する、クライオスタットとは別に設けられたサポートステージと、 クライオスタットに固定され、被冷却体の荷重を支持する低振動ステージと、 を備えたことを特徴とする極低温冷却装置。
IPC (1件):
F25B9/00
FI (2件):
F25B9/00 Z ,  F25B9/00 J
引用特許:
審査官引用 (10件)
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