表面検査方法およびシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172877
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105833
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】カメラを構成する一次元イメージセンサの素子ばらつきの影響を除去して、検査対象物上の欠陥検知などの表面状態の検査を精度よく行う。【解決手段】一次元イメージセンサ13を有するディジタルカメラ11により副走査方向に相対的に移動する検査対象物10上を空間軸の方向(主走査方向)に走査して得られるディジタル画像データを演算処理装置16に入力し、演算処理装置16においてNラインメモリ17と相関器18を用いて時間軸の方向(副走査方向)に演算処理を施し、判定器19を通して検査対象物10の表面状態を求める。

請求項（抜粋）：

イメージセンサを有するカメラにより検査対象物上を空間軸の方向に走査して得られた画像データに対し、時間軸の方向に演算処理を施すことによって前記検査対象物の表面状態を検査することを特徴とする表面検査方法。

IPC (4件)：

G06T 7/00 , G01N 21/88 , G06T 1/00 , H04N 7/18

FI (4件)：

G06F 15/62 400 , G01N 21/88 J , H04N 7/18 B , G06F 15/64 400 E

引用特許：

審査官引用 (20件)

繰返しパターンの欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-231022 出願人：株式会社日立製作所
配線パターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-014599 出願人：松下電器産業株式会社
画像処理装置及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-006978 出願人：キヤノン株式会社

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