特許
J-GLOBAL ID:200903055208191556
複数ガス濃度同時測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
平山 一幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-139598
公開番号(公開出願番号):特開2007-309800
出願日: 2006年05月18日
公開日(公表日): 2007年11月29日
要約:
【課題】装置コストが低く、同時に測定する被測定ガスの種類を多くでき、軽量でコンパクトであり、可搬性を必要とする用途にも利便性が高い複数ガス濃度同時測定装置を提供する。【解決手段】複数の被測定ガスに固有の赤外吸収スペクトルにそれぞれ一致した赤外発光スペクトルを有する赤外光源3を、それぞれ異なった周波数で振幅変調しながら常時発光させ、これらの赤外光を一つの光束5に形成し、光束5を二つの光束7,8に分割し、光束7を周波数を選択して位相敏感検波して、多重反射試料ガスセル11へのそれぞれの赤外光の入射光強度を測定し、光束12を周波数を選択して位相敏感検波して、それぞれの赤外光の多重反射試料ガスセル11からの透過光強度を測定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の互いに異なる周波数信号を同時に送出すると共に、この互いに異なる周波数信号を順次送出する周波数信号発生器と、
複数の被測定ガスのそれぞれの赤外吸収スペクトルにそれぞれ一致した赤外発光スペクトルを有する複数の赤外光源と、この複数の被測定ガスの赤外吸収スペクトルのいずれにも一致しない赤外発光スペクトルを有する赤外光源と、
上記複数の赤外光源のそれぞれの発光強度を、上記周波数信号発生器から同時に供給される互いに異なった周波数信号のそれぞれで振幅変調する電源部と、
この振幅変調された赤外光を、一つの光束に形成する光束形成器と、
この一つの光束に形成された赤外光を進行方向の異なる二つの光束に分割する光分割器と、
この分割された二つの光束の一方を入射し、この入射した光束に含まれる上記互いに異なった周波数信号のそれぞれで振幅変調された赤外光のそれぞれの強度を、上記周波数信号発生器から順次供給される互いに異なる周波数信号により順次位相敏感検波して測定する入射光強度測定器と、
上記光束の他方を入射する多重反射試料ガスセルと、
この多重反射試料ガスセルを透過した光束を入射し、この入射した光束に含まれる上記互いに異なった周波数信号のそれぞれで振幅変調された赤外光のそれぞれの強度を、上記周波数信号発生器から順次供給される互いに異なる周波数信号により順次位相敏感検波して測定する透過光強度測定器と、
上記入射光強度測定器で測定したそれぞれの赤外光強度と上記透過光強度測定器で測定したそれぞれの赤外光強度とから上記複数のガスの濃度を演算し表示する演算表示器と、
から成ることを特徴とする、複数ガス濃度同時測定装置。
IPC (3件):
G01N 21/39
, G01N 21/35
, H01S 5/34
FI (3件):
G01N21/39
, G01N21/35 Z
, H01S5/34
Fターム (29件):
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059EE01
, 2G059EE11
, 2G059FF10
, 2G059GG02
, 2G059GG03
, 2G059GG09
, 2G059HH01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ14
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059LL02
, 2G059MM01
, 2G059NN01
, 2G059NN07
, 2G059PP04
, 5F173AF03
, 5F173AF15
, 5F173AH37
, 5F173AR94
, 5F173SA18
, 5F173SA32
, 5F173SC10
, 5F173SE02
, 5F173SG03
, 5F173SG21
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
赤外線ガスアナライザー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-247547
出願人:マークェット・エレクトロニクス・インコーポレーテッド
-
特開平2-66428号公報
審査官引用 (7件)
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