特許
J-GLOBAL ID：200903055228401395

圧電振動片

発明者：
山崎 隆

山崎 隆 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-181525
公開番号（公開出願番号）：特開2008-011348
出願日： 2006年06月30日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：
【課題】小型に構成でき、比較的低い周波数を安定して生成できる圧電振動片を提供すること。【解決手段】ヤング率が小さく、かつ周波数-温度特性が良好な基材により形成した基部21と、この基部と同じ材料で一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕22,23とを備え、該振動腕の表面の両側縁にそれぞれ形成され互いに異極となるようにされた第1の電極26,27と、該第1の電極の表面に形成した圧電薄膜24,25と、該圧電薄膜を挟んで、前記第1の電極と対となるように前記圧電薄膜の表面に形成された第2の電極28,29とを有する圧電振動片。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ヤング率が小さく、かつ周波数-温度特性が良好な基材により形成した基部と、 この基部と同じ材料で一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕とを備え、 該振動腕の表面の両側縁にそれぞれ形成され互いに異極となるようにされた第1の電極と、 該第1の電極の表面に形成した圧電薄膜と、 該圧電薄膜を挟んで、前記第1の電極と対となるように前記圧電薄膜の表面に形成された第2の電極と を有することを特徴とする圧電振動片。
IPC (4件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18
FI (5件)：
H03H9/19 L ,  H03H9/17 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101Z
Fターム (10件)：
5J108BB02 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108FF02 ,  5J108GG03 ,  5J108GG04 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (10件)
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