インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-027193
公開番号（公開出願番号）：特開平9-216358
出願日： 1996年02月15日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】製造工程が多い。【解決手段】シリコン基板1の表面に電気変換素子であるピエゾ素子2を焼成して形成した。

請求項（抜粋）：

電気機械変換素子でインクを加圧してインク滴を吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、シリコン基板上に電気機械変換素子材料を焼成して前記電気機械変換素子を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

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