特許
J-GLOBAL ID：200903055327141370

広域と局所的帯電を中和させる電子照射手段

発明者：
相田 和男

相田 和男 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016296
公開番号（公開出願番号）：特開2002-222634
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的課題は、帯電を中和させる機能を有するチャージニュートライザを備えた集束イオンビーム装置において、試料中に混在する広域帯電と局部帯電の形態に対して迅速的確に中和動作が達成できるチャージニュートライザを備えた集束イオンビーム装置を提供することにある。【解決手段】 本発明は、帯電を中和させる機能を有するチャージニュートライザを広域帯電用と局部帯電用を別個に備えるか、チャージニュートライザに走査機能をもたせデフレクタによってビームを走査したり所定領域に停止させたりするか、チャージニュートライザに中央とその周りに複数の開口をもった絞りを光学系に介在させるなりして、試料中に混在する広域帯電と局部帯電の形態に対して迅速的確に中和動作が達成できるようにした。
請求項（抜粋）：
イオン照射に起因する試料の電荷蓄積を中和させる集束イオンビーム装置における電子照射手段であって、広範囲の領域に電子を照射する機能と、局所的な領域に電子を照射する機能とを兼備した集束イオンビーム装置における電子照射手段。
IPC (4件)：
H01J 37/20 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/3205
FI (4件)：
H01J 37/20 H ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28 Z ,  H01L 21/88 Z
Fターム (17件)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001AA20 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA06 ,  2G001GA07 ,  2G001JA03 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5F033XX36 ,  5F033XX37
引用特許：
審査官引用 (4件)
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