レーザチャンバのウィンドウ劣化判定装置および方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：木村高久 , 小幡義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-029747
公開番号（公開出願番号）：特開2007-214189
出願日： 2006年02月07日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：

【課題】レーザチャンバから出力されるレーザ光の偏光状態の変化をモニタし、レーザチャンバに取り付けられたウィンドウの劣化を早期に把握できる装置および方法を提供する。【解決手段】レーザ発振器から出力されたレーザ光は偏光モニタに入射する。偏光モニタではレーザ光の偏光状態がモニタされる。偏光モニタの検出結果は比較演算部に出力される。比較演算部では偏光モニタで検出された偏光状態を示す値、例えば偏光純度や偏光方位角、が算出され、この算出値と許容範囲設定部に予め設定された許容範囲の閾値とが比較される。算出値が許容範囲の閾値を超えた場合に、信号出力部からウィンドウ劣化信号が出力される。このウィンドウ劣化信号の発生をもってウィンドウが劣化したものと判定することができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

レーザチャンバに設けられたウィンドウからレーザ光を出力するレーザ発振器と、前記レーザチャンバから出力されるレーザ光の偏光状態を検出する偏光モニタと、レーザ光の偏光状態を示す値のうち許容できる範囲を設定する許容範囲設定部と、前記偏光モニタで検出された偏光状態に基づいて偏光状態を示す値を算出し、その算出値と前記許容範囲設定部で設定された範囲の閾値とを比較する比較演算部と、前記比較演算部で算出された偏光状態を示す値が前記許容範囲設定部で設定された範囲外である場合に、前記レーザチャンバから出力されるレーザ光の偏光状態が許容範囲外になったことを示す信号を出力する信号出力部と、を有するレーザチャンバのウィンドウ劣化判定装置。

IPC (4件)：

H01S 3/00 , H01L 21/027 , G01N 21/23 , H01S 3/134

FI (4件)：

H01S3/00 G , H01L21/30 515B , G01N21/23 , H01S3/134

Fターム (28件)：

2G059AA02 , 2G059EE05 , 2G059GG01 , 2G059HH03 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059JJ21 , 2G059KK03 , 2G059MM01 , 5F046CA03 , 5F046DA01 , 5F046DB01 , 5F046DB12 , 5F046DC01 , 5F071AA02 , 5F071AA06 , 5F071HH02 , 5F071JJ05 , 5F071JJ10 , 5F172AD07 , 5F172DD01 , 5F172NN28 , 5F172NP02 , 5F172NP16 , 5F172NP18 , 5F172WW01 , 5F172ZA02 , 5F172ZZ02

引用特許：

審査官引用 (6件)

紫外線レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-156439 出願人：ギガフォトン株式会社, 株式会社小松製作所
長寿命光学部品を有する高出力遠紫外線レーザ
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-504358 出願人：サイマーインコーポレイテッド
耐損傷性光学部品の製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-526851 出願人：ザリージェンツオブザユニバーシティオブカリフォルニア

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