特許
J-GLOBAL ID：200903055388165493

蒸着用ITOペレットおよびその製造方法

発明者：
内海 健太郎

内海 健太郎 について

, 
高畑 努

高畑 努 について

, 
吉村 了治

吉村 了治 について


出願人/特許権者：
東ソー株式会社

東ソー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259784
公開番号（公開出願番号）：特開平11-100660
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 高いパワーの電子ビームを照射してもペレットの割れが生じることのない蒸着用ITOペレットを提供する。【解決手段】 相対密度が90%以上のITO焼結体を粉砕して得た、粒径0.5mm以下の顆粒を再度焼結させて得られる、相対密度が60%以上80%以下のITO焼結体からなる蒸着用ITOペレット。
請求項（抜粋）：
実質的にインジウム、スズおよび酸素からなる相対密度60%以上80%以下の蒸着用ITOペレットであって、該ペレットは、直径0.5mm以下の顆粒より構成され、該顆粒の1つ1つが90%以上の相対密度を有することを特徴とする蒸着用ITOペレット。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  B22F 5/00 ,  C23C 14/08
FI (3件)：
C23C 14/24 E ,  C23C 14/08 D ,  B22F 5/00 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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