特許
J-GLOBAL ID：200903055622962440

斜めのビュー角度をもつ検査システム

発明者：
コレンガット, ドロン

コレンガット, ドロン について

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コヘン, ビニャミン

コヘン, ビニャミン について

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ゲッタ, アヴィシェー

ゲッタ, アヴィシェー について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ イスラエル リミテッド

アプライド マテリアルズ イスラエル リミテッド について

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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一 ,  野田 雅一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-541515
公開番号（公開出願番号）：特表2006-501469
出願日： 2003年09月08日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(198)が結合される。
請求項（抜粋）：
表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成する装置であって、その光学系が、 上記ビュー角度に向けられた光学軸に沿って上記エリアから光学放射を収集することにより上記エリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレーと、 上記初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する傾斜補正ユニットと、 上記中間像を像検出器に収束するように結合された拡大モジュールと、 を備えた装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G02B 27/46
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  G02B27/46
Fターム (37件)：
2F065AA49 ,  2F065CC19 ,  2F065GG06 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL03 ,  2F065LL08 ,  2F065LL15 ,  2F065LL22 ,  2F065LL24 ,  2F065LL32 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL49 ,  2F065LL57 ,  2F065LL59 ,  2F065PP12 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12 ,  2G051EA23
引用特許：
審査官引用 (13件)
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