特許
J-GLOBAL ID:200903055698547795

複合センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-350907
公開番号(公開出願番号):特開2006-162314
出願日: 2004年12月03日
公開日(公表日): 2006年06月22日
要約:
【課題】角速度センサと加速度センサとを複合して実装面積を低減し、実装基板の小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。【解決手段】枠状固定基部1と、この枠状固定基部1の内側に配置するとともに、接続部2を介して接続した中央基部3と、この中央基部3に連結した第1圧電素子4と、中央基部3に連結した錘部6と、錘部6と枠状固定基部1との間に配置した互いに対向する対向電極7とを有する振動子10を備え、第1圧電素子4を駆動振動させ、コリオリ力に起因して変化する第1圧電素子4の屈曲振動を検知して角速度を算出し、錘部6の可動に起因して変化する対向電極の静電容量を検知して加速度を算出する構成である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
角速度センサと加速度センサを有する複合センサであって、基板と、前記基板に取付支持した枠状固定基部と、前記枠状固定基部の内側に配置した中央基部と、前記中央基部に連結した第1圧電素子と、前記中央基部に連結した錘部と、前記錘部と前記基板との間または前記錘部と前記枠状固定基部との間に配置した互いに対向する対向電極とを有し、前記角速度センサは、前記第1圧電素子を駆動振動させ、コリオリ力に起因して変化する前記第1圧電素子の屈曲振動を検知して角速度を算出し、前記加速度センサは、前記錘部の可動に起因して変化する前記対向電極の静電容量を検知して加速度を算出する複合センサ。
IPC (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125
FI (3件):
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/125 Z
Fターム (6件):
2F105AA01 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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