特許
J-GLOBAL ID：200903055732364999
パルスレーザ用の充放電回路
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-076945
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277840
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 パルスレーザの発振周波数を上げることが可能なパルスレーザ用の充放電回路を提供する。【解決手段】 両極間電圧VCが最終目標値VFに達するまでコンデンサC0に電荷を充電する高圧電源18と、この電荷を放電電極5,5間でパルス状に放電させてパルスレーザ光11を発振させる放電回路3と、パルスレーザ光11の1パルスごとのパルス発光量に基づき、次に充電を行なう際の両極間電圧VCの最終目標値VFを算出し、高圧電源18に出力するレーザコントローラ4とを備えたパルスレーザ用の充放電回路において、レーザコントローラ4が両極間電圧VCの最終目標値VFを算出する以前から、所定の1次目標値V1に向けて電荷の充電を開始し、最終目標値VFの算出後、最終目標値VFまで充電を行なっている。
請求項（抜粋）：
コンデンサ(C0)の両極間電圧(VC)が最終目標値(VF)に達するまでコンデンサ(C0)に電荷を充電する高圧電源(18)と、この電荷を放電電極(5,5)間でパルス状に放電させてレーザ媒質を励起し、パルスレーザ光(11)を発振させる放電回路(3)と、このパルスレーザ光(11)の1パルスごとのパルス発光量を検出するパルスモニタ(12)と、レーザ発振後に、パルス発光量に基づき、次にコンデンサ(C0)の充電を行なう際の両極間電圧(VC)の最終目標値(VF)を算出し、高圧電源(18)に出力するレーザコントローラ(4)とを備えたパルスレーザ用の充放電回路において、前記レーザコントローラ(4)がコンデンサ(C0)の両極間電圧(VC)の最終目標値(VF)を算出する以前から、所定の1次目標値(V1)に向けてコンデンサ(C0)に電荷の充電を開始し、最終目標値(VF)の算出後、算出した最終目標値(VF)まで充電を行なうことを特徴とするパルスレーザ用の充放電回路。
Fターム (4件)：
5F071AA06
, 5F071GG05
, 5F071HH02
, 5F071JJ07
