直視型共焦点光学系

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058536
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258699
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】光路上に存在する光学要素からの戻り光によるノイズ成分の少ない直視型共焦点光学系を提供する。【解決手段】共焦点光学系は光ファイバー10と光走査光学系20と集光光学系30とを有している。光走査光学系20は、光ファイバー10からの光ビームを一定方向に偏向する反射面22と、反射面22からの光ビームを二次元的に走査する走査ミラー24を含んでいる。集光光学系30は、光走査光学系20からの光ビームを被検面Sに収束する光ビームに変えるレンズ32と、レンズ32を保護するためのカバーガラス34を含んでいる。光ファイバー10の端面12は、実質的に点光源と見なすことができ、共焦点ピンホールとして機能する。反射面22と走査ミラー24は共に光ビームが斜めに入射するように配置されている。レンズ32は、光ビームが通過する面はいずれも曲面となっている。

請求項（抜粋）：

点光源を形成するための共焦点ピンホールと、点光源からの光ビームを走査する光走査光学系と、点光源からの光ビームを被検面に集光させる集光光学系とを備えており、光走査光学系は少なくとも1つの走査ミラーを含む複数の反射面を有し、これら複数の反射面は光ビームが斜めに入射するように配置されており、点光源からの光ビームの主光線と集光光学系の光軸とが略平行に設定されている、直視型共焦点光学系。

Fターム (9件)：

2H040CA00 , 2H040CA11 , 2H040CA21 , 2H040CA23 , 2H040CA24 , 2H040CA25 , 2H040DA13 , 2H040DA51 , 2H040DA56

引用特許：

審査官引用 (6件)

走査型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-123946 出願人：オリンパス光学工業株式会社
検出光学系並びに立体形状検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-134668 出願人：株式会社日立製作所
光走査プローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-233001 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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