特許
J-GLOBAL ID：200903055787351918

回転テーブルおよび洗浄装置

発明者：
井上 克己

井上 克己 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-264721
公開番号（公開出願番号）：特開2008-085146
出願日： 2006年09月28日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：
【課題】ウエーハが位置ずれを起こして搬送された場合には意図的に正常時と同様なウエーハの吸引保持ができないようにして、ウエーハが位置ずれを起こしたままでの洗浄動作等のその後の動作への移行を未然に防止できるようにする。【解決手段】回転テーブル20の回転によって生ずる遠心力で外周側に揺動する重り部281bと該重り部281bの外周側への揺動に追従して内周側に揺動しフレームFをフレーム保持部26とで挟持する押さえ部281aとを有する振り子281を備えるとともに、押さえ部281aが初期状態から外周側へ揺動しないように振り子281の揺動を規制する規制部33を備えることで、ウエーハWが位置ずれを起こして搬送された場合には該ウエーハWと一体となったフレームFが押さえ部281a上に載っても規制部33によって振り子281の揺動を規制し、意図的に吸着エラーを生じさせるようにした。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
テープを介してフレームと一体となったウエーハを保持して回転可能な回転テーブルにおいて、 前記フレームを保持するフレーム保持部と、 ウエーハ領域を吸引保持するウエーハ領域保持部と、 前記フレーム保持部の外周部に回動自在に軸支され、当該回転テーブルの回転によって生ずる遠心力で外周側に揺動する重り部と該重り部の外周側への揺動に追従して内周側に揺動し前記フレームを前記フレーム保持部とで挟持する押さえ部とを有する振り子と、 前記押さえ部が初期状態から外周側へ揺動しないように前記振り子の揺動を規制する規制部と、 を備えることを特徴とする回転テーブル。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/301 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/78 P ,  H01L21/68 P ,  H01L21/304 643A
Fターム (30件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA11 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA12 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA24 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031HA48 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031HA60 ,  5F031HA78 ,  5F031JA04 ,  5F031JA10 ,  5F031JA14 ,  5F031JA22 ,  5F031JA39 ,  5F031JA47 ,  5F031KA20 ,  5F031MA23 ,  5F031MA34 ,  5F031PA08 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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