ヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアップ方法及びその装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222819
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050853
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】フォアライン配管に溜まり込んだヘリウムを補助排気ポンプによって掃引する時間を大幅に短縮するためのクリーンアップ方法と装置を提供する。【解決手段】主排気ポンプ5の排気口をフォアライン配管7を介して補助排気ポンプ6に接続し、主排気ポンプの吸気口に分析管4を接続し、テストポート8に連なる排気管路9を主排気ポンプを介して或いは直接にフォアライン配管に接続し、排気管路を流れるヘリウムを分析管で検出するヘリウムリークディテクターに於いて、テストポートが開通する以前に、フォアライン配管へヘリウムを殆ど含まないクリーンアップガスを制御して1回又は複数回導入することにより該フォアライン配管に残存するヘリウムをクリーンアップする。フォアライン配管に該クリーンアップガスを導入する絞り機能を備えた開閉バルブ10を設けた。

請求項（抜粋）：

ターボ分子ポンプなどの主排気ポンプの排気口をフォアライン配管を介して補助排気ポンプに接続し、該主排気ポンプの吸気口に磁場偏向型質量分析管などの分析管を接続し、テストポートに連なる排気管路を該主排気ポンプを介して或いは直接に該フォアライン配管に接続し、該排気管路を流れるヘリウムを該分析管で検出するヘリウムリークディテクターに於いて、該テストポートが開通する以前に、該フォアライン配管へヘリウムを殆ど含まない大気などのクリーンアップガスを制御して1回又は複数回導入することにより該フォアライン配管に残存するヘリウムをクリーンアップすることを特徴とするヘリウムリークディテクターのヘリウムクリーンアップ方法。

IPC (2件)：

G01M 3/20 , G01N 27/62

FI (2件)：

G01M 3/20 B , G01N 27/62 V

Fターム (9件)：

2G067AA24 , 2G067AA25 , 2G067BB03 , 2G067BB04 , 2G067BB12 , 2G067BB30 , 2G067CC04 , 2G067CC12 , 2G067DD17

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-004133
特開平3-004133
密閉品のリークテスト方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-186613 出願人：日本真空技術株式会社

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