特許
J-GLOBAL ID：200903055855555225

面発光レーザ素子およびその作製方法および面発光レーザアレイおよび波長多重伝送システム

発明者：
伊藤 彰浩

伊藤 彰浩 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-090154
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289969
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：
【要約】【課題】 単一モードの発振光を得やすく、低いしきい値電流で発振し、活性層の歪みによる波長シフトと素子の劣化を低減させることの可能な面発光レーザ素子を提供する。【解決手段】 この面発光レーザ素子は、駆動基体と、面発光レーザ下部基体とを有し、駆動基体は、第1のミラー層1と、第1のミラー層1が配置されているたわみ膜2と、たわみ膜2の第1のミラー層1とは反対の側に第1の空隙3を介して配置されている支持基板4と、たわみ量を制御するために、たわみ膜2と支持基板4とに設けられている一対の変位制御電極5a,5bとを有している。
請求項（抜粋）：
駆動基体と、面発光レーザ下部基体とを有し、駆動基体は、第1のミラー層と、第1のミラー層が配置されているたわみ膜と、たわみ膜の第1のミラー層とは反対の側に第1の空隙を介して配置されている支持基板と、たわみ量を制御するためにたわみ膜と支持基板とに設けられている一対の変位制御電極とを有し、また、面発光レーザ下部基体は、半導体基板上に、半導体多層膜反射鏡からなる第2のミラー層と、第1のスペーサ層と、活性層と、第2のスペーサ層と、電流注入層とが積層されて、積層構造として形成されており、面発光レーザ下部基体と駆動基体とは、面発光レーザ下部基体の積層構造の表面と前記第1のミラー層の表面とが第2の空隙を有するように対向して配置されていることを特徴とする面発光レーザ素子。
IPC (3件)：
H01S 5/183 ,  G02B 26/06 ,  H01S 5/42
FI (3件)：
H01S 5/183 ,  G02B 26/06 ,  H01S 5/42
Fターム (20件)：
2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  5F073AA65 ,  5F073AB06 ,  5F073AB17 ,  5F073AB25 ,  5F073AB26 ,  5F073AB28 ,  5F073BA01 ,  5F073CA07 ,  5F073CA17 ,  5F073CB02 ,  5F073DA23 ,  5F073EA03 ,  5F073EA04 ,  5F073EA28
引用特許：
審査官引用 (3件)

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