特許
J-GLOBAL ID:200903055880542286
面発光半導体レーザ
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
光石 俊郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-320034
公開番号(公開出願番号):特開平9-162482
出願日: 1995年12月08日
公開日(公表日): 1997年06月20日
要約:
【要約】【課題】 低閾値電流、発光の高効率化を図った面発光半導体レーザを提供することを課題とする。【解決手段】 GaAs基板1上に第一光反射鏡としてAlGaAs/GaAsを積層したn型反射鏡3と、格子定数がGaAsに比べて大きく圧縮歪み層を有しInGaAlAs/AlGaAsMQW活性層8と、AlAs/AlGaAs/GaAsp型反射鏡2をエピタキシャル成長して構成され、発振波長が0.8 μm帯である。
請求項(抜粋):
GaAs基板上に第一光反射鏡として光学波長1/4の膜厚で交互にAlX1Ga1-X1AsとAlX2Ga1-X2As(0≦x1,x2 ≦1)を積層した半導体多層膜と、格子定数がGaAsに比べて大きいAlX3Ga1-X3As/InX4Ga1-X5Al1-X4-X5 As層(0≦x3,x4,x5≦1)、若しくはInX6Ga1-X6Asy1P1-y1/InX7Ga1-X7Asy2P1-y2層(0≦x6,x7,y1,y2 ≦1)で活性層の井戸層が圧縮歪みからなるMQW活性層と、光学波長の1/4の膜厚で交互にAlX8Ga1-X8AsとAlX9Ga1-X9As層(0≦x8,x9 ≦1)をエピタキシャル成長して構成され、発振波長が0.8 μm帯であることを特徴とする面発光半導体レーザ。
引用特許: