特許
J-GLOBAL ID：200903055881394671

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
大田 昌弘

大田 昌弘 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-066193
公開番号（公開出願番号）：特開2006-250649
出願日： 2005年03月09日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】 観察対象や観察目的に応じてスキャナを交換する必要が無く、高い分解能を保ったまま、微小領域から広域までの観察を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】 探針13をX-Y-Z軸方向に移動させる探針側スキャナ10と試料12をX-Y-Z軸方向に移動させる試料側スキャナ11の2つのスキャナを設ける。探針側スキャナ10として最大走査範囲の小さいスキャナ、試料側スキャナ11として最大走査範囲の大きいスキャナを使用し、観察対象や観察目的に応じて両者を切り替えて使用する。あるいは、探針側スキャナ10で微小領域の走査を行うと共に、試料側スキャナ11によって観察視野を移動させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微小な探針によって試料の表面を走査することにより、試料表面の3次元形状や物理量を検出する走査型プローブ顕微鏡において、 a)探針をX-Y-Z軸方向に移動させる探針移動機構と、 b)試料をX-Y-Z軸方向に移動させる試料移動機構と、 を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N13/10 B ,  G01B21/30
Fターム (13件)：
2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG20 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2F069MM38
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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