特許
J-GLOBAL ID：200903055885619767

線形計画法で最適調整された露光装置およびその調整方法

発明者：
品野 勇治

品野 勇治 について

, 
深川 容三

深川 容三 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-170631
公開番号（公開出願番号）：特開2002-367886
出願日： 2001年06月06日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：
【要約】【課題】 線形計画法で最適調整を行い、レンズディストーション精度や配列のマッチング精度等を向上させる露光装置およびその調整方法を提供する。【解決手段】 調整後の誤差の限界値を調整量と無関係なダミー変数として表現し、最小化する目的関数が当該ダミー変数であることを特徴とする線形計画法を用いた演算手段、この演算手段で調整量を決定する調整量補正手段で構成される。また、調整後の誤差の限界値をこれと無関係なダミー変数とし(ステップS101)、最小化する目的関数が当該ダミー変数とする線形計画法によって、調整対象の調整量を決定(ステップS105)する。
請求項（抜粋）：
調整後の誤差の限界値を調整量と無関係なダミー変数として表現し、最小化する目的関数が当該ダミー変数である線形計画法を用いた演算手段、および該演算手段で調整量を決定する調整量補正手段を有することを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68
FI (5件)：
G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 502 G
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA13 ,  5F031KA00 ,  5F031MA27 ,  5F046BA03 ,  5F046DA13 ,  5F046DB10 ,  5F046FC04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (8件)
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