ガラスセラミック基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-159042
公開番号（公開出願番号）：特開2001-342073
出願日： 2000年05月29日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：

【要約】【課題】ガラスセラミック・グリーンシートの焼結収縮を確実に拘束して、寸法精度が極めて高いガラスセラミック基板を得る方法を提供することである。【解決手段】 (i)表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層して凹部Aを有する積層体1’を作製し、(ii)該積層体1’の凹部Aに拘束用無機組成物2’を充填するとともに、積層体1’の両面に、難焼結性無機材料とガラスと有機バインダーとを含む無機組成物から成る拘束グリーンシート3’を積層し、(iii)積層体から有機成分を除去し、ついで焼成して、拘束シート3を保持したガラスセラミック基板1を作製し、(iv)該基板1から拘束シート3および拘束用無機組成物2を除去する工程からなり、(v)拘束シート3および拘束用無機組成物2のガラス含有量が、焼成時にガラスセラミック・グリーンシートと結合しかつ積層面内で実質的に収縮させない量である。

請求項（抜粋）：

有機バインダーを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートおよび貫通穴を設けたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層して凹部を有するガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の前記凹部に難焼結性無機材料とガラスと有機バインダーとを含む拘束用無機組成物を充填するとともに、前記積層体の両面に、難焼結性無機材料とガラスと有機バインダーとを含む拘束グリーンシートを積層する工程と、前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体に荷重をかけつつ有機成分を除去し、ついで焼成して拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、前記ガラスセラミック基板から拘束シートおよび前記拘束用無機組成物を除去する工程とを含み、前記拘束グリーンシートおよび前記拘束用無機組成物のガラス含有量が、前記焼成時に拘束グリーンシートおよび拘束用無機組成物を前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートおよび拘束用無機組成物をその積層面内で実質的に収縮させない量であることを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。

IPC (5件)：

C04B 35/622 , B28B 11/00 , C04B 35/495 , C04B 35/64 , H05K 3/46

FI (5件)：

H05K 3/46 H , C04B 35/00 G , B28B 11/00 Z , C04B 35/00 J , C04B 35/64 G

Fターム (35件)：

4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA09 , 4G030AA16 , 4G030AA17 , 4G030AA32 , 4G030AA35 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA61 , 4G030BA12 , 4G030CA08 , 4G030GA19 , 4G030GA23 , 4G030GA31 , 4G030GA32 , 4G055AA08 , 4G055AC09 , 4G055BA22 , 5E346AA12 , 5E346AA15 , 5E346AA24 , 5E346AA38 , 5E346BB01 , 5E346CC18 , 5E346CC60 , 5E346DD02 , 5E346DD34 , 5E346EE24 , 5E346EE25 , 5E346EE29 , 5E346GG03 , 5E346GG08 , 5E346GG09 , 5E346HH11

引用特許：

審査官引用 (5件)

多層セラミック基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-130672 出願人：松下電器産業株式会社
多層ガラス・セラミック基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-176253 出願人：ティーディーケイ株式会社
ガラスセラミックス多層基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-338515 出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス

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