レーザ発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-338213
公開番号（公開出願番号）：特開平7-202307
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】複数のレーザ光を個別に変調して利用する各種のレーザ応用装置に適用して好適なレーザ発生装置を提供する。【構成】それぞれがレーザ光を発生させるとともに、該レーザ光に対して内部で直接変調を行ない得るレーザ発振器15が複数備えられ、これらレーザ発振器15、15、...の出力端にそれぞれ光ファイバ16の一端が接続されるとともに、それら光ファイバ16の他端はフェルール17等により揃えられて一体化されている。

請求項（抜粋）：

それぞれが独立して変調された複数のレーザ光を並行して発生させるためのレーザ発生装置であって、レーザ光を発生させるとともに、該レーザ光に対して内部で直接変調を行ない得るレーザ発振器が複数、設けられ、該複数のレーザ発振器の出力端にはそれぞれ光ファイバの一端が接続されるとともに、該複数の光ファイバの各他端はその端面が面一状態となるように揃えられるとともに、前記各他端が一体化されていることを特徴とするレーザ発生装置。

IPC (2件)：

H01S 3/101 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平2-050105
レーザ加工装置およびレーザによる加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-266667 出願人：株式会社東芝
特開平2-134259

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