オートハンドラ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒船博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-392773
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196038
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】オートハンドラによるデバイスの連続処理で1デバイスあたりの総処理時間を短縮する。【解決手段】未測定のIC1が複数載置されたトレー2を収容するローダ11と、ローダのトレーを測定準備位置P1に移送する供給シャトル12と、測定準備位置P1で待機する供給シャトル上のトレーを把持し該把持したトレー内の未測定ICをトレーに載置した状態のままで順次ICソケット4に移送すると共にトレー内すべてのICに対してICソケットでの測定が終了したところでトレーを収容準備位置P2に移送する測定ステージ20と、測定ステージから受け取ったトレーを収容バッファP3に移送する収容シャトル13と、収容バッファP3で待機する収容シャトル上のトレーに載置される測定済みのICをICソケットでの測定結果に基づいて分類収容する分類収容部とを備えるオートハンドラ100である。

請求項（抜粋）：

未測定のデバイスを測定部に移送し、前記測定部での測定結果に基づいて測定済みのデバイスを分類収容するオートハンドラであって、未測定のデバイスが複数載置されたトレーを収容するローダと、前記ローダのトレーを測定準備位置に移送する供給シャトルと、前記測定準備位置で待機する供給シャトル上のトレーを把持し、把持したトレー内の未測定デバイスをトレーに載置した状態のままで順次前記測定部に移送すると共に、トレー内すべてのデバイスに対して前記測定部での測定が終了したところで、トレーを収容準備位置に移送する測定ステージと、前記収容準備位置で前記測定ステージからトレーを受け取り、受け取ったトレーを収容バッファに移送する収容シャトルと、前記収容バッファで待機する前記収容シャトル上のトレーに載置される測定済みのデバイスを前記測定部での測定結果に基づいて分類収容する分類収容部とを備えることを特徴とするオートハンドラ。

Fターム (6件)：

2G003AA07 , 2G003AF05 , 2G003AF06 , 2G003AG01 , 2G003AG11 , 2G003AH04

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-256253
IC試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-157377 出願人：株式会社アドバンテスト
複合IC試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-156925 出願人：株式会社アドバンテスト

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