特許

J-GLOBAL ID：200903056038248490

小角散乱測定用のX線光学装置と多層膜ミラー

発明者： 岩崎 吉男
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-109081
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356197
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 試料に対する小角分解能と入射X線強度のいずれをも最適化して、高精度な小角散乱測定を実現する。【解決手段】楕円反射面を有しX線の広がり角がδの多層膜ミラー1を備える。この多層膜ミラー1の楕円反射面は、2つの焦点を有しており、一方の焦点AにX線源2を配置して該X線源2から発散されたX線を該多層膜ミラー1で反射させると、その反射X線は他方の焦点Bに収束する。該多層膜ミラー1の一方の焦点AにX線源2を配置するとともに、多層膜ミラー1の反射面中心位置から他方の焦点B(すなわち、反射X線の収束点)までの距離L2を、該焦点BにおけるX線の収束角θcが上記広がり角δのほぼ2倍となるように設定する。以上の構成により、試料に対する小角分解能と入射X線強度のいずれをも最適化して、高精度な小角散乱測定を実現することが可能となる。

請求項（抜粋）：

反射X線の広がり角がδの多層膜ミラーと、X線を放射するX線源とを含み、多層膜ミラーが少なくとも次の(イ)及び(ロ)の条件を備えた小角散乱用X線光学装置。(イ) 反射面が、2つの焦点A,Bをもつ楕円面に形成されている。(ロ) 反射面の中心位置から焦点Bまでの距離は、焦点AにX線源を配置して反射面にX線を照射したとき、焦点BにおけるX線の収束角θcが前記広がり角δのほぼ2倍となるように設定されている。

IPC (3件)：

G21K 1/06 ,  G01N 23/201 ,  G02B 17/08

FI (4件)：

G21K 1/06 G ,  G21K 1/06 B ,  G01N 23/201 ,  G02B 17/08 Z

Fターム (12件)：

2G001AA01 ,  2G001BA14 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001KA01 ,  2G001KA08 ,  2G001KA20 ,  2G001PA07 ,  2H087KA12 ,  2H087TA04 ,  2H087TA06

引用特許：

審査官引用 (5件)

• X線用多層膜光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-285945   出願人：日本航空電子工業株式会社
• 湾曲全反射ミラーカメラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-083171   出願人：株式会社マックサイエンス
• X線分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-148260   出願人：理学電機株式会社
• X線集光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-309787   出願人：理学電機株式会社
• 特開平3-072298