X線用多層膜光学素子

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285945
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084093
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】従来のX線用多層膜光学素子は直入射において十分な反射率が得られないことから、斜入射光学系を用いざるを得なかった。このためX線光学機器の大サイズ、高価格、低分解能を招き、X線光学機器の実用化の障害となってきた。本発明は、直入射においても大きな反射率を有する反射素子等のX線用光学素子を提供することによって、X線光学機器の小型、低価格、高精度化に寄与することを目的とする。【解決手段】本願第一の発明では軽元素層にフラーレンを用い、これと重元素層を交互に積層してX線用多層膜光学素子を構成する。本願第二の発明では軽元素層と重元素層との間にフラーレンの中間層を設けたX線用多層膜光学素子を構成する。本願第三の発明では基板と重元素層、又は軽元素層の間にフラーレンの下地層を設けたX線用多層膜光学素子を構成する。本願第四の発明では上記本願第一から第三の発明の構成に加えフラーレンが重合フラーレンから構成されたX線用多層膜光学素子を構成する。

請求項（抜粋）：

軽元素層と重元素層を交互に積層してなるX線用多層膜光学素子において、前記軽元素層にフラーレンを用いたことを特徴とするX線用多層膜光学素子

引用特許：

審査官引用 (9件)

多層膜分光反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-010254 出願人：日本電信電話株式会社
軟X線多層膜反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-100072 出願人：日本航空電子工業株式会社
X線多層膜反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-037899 出願人：株式会社ニコン

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