特許
J-GLOBAL ID:200903056072514832
NDフィルタ及びこれを用いた光量絞り装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 晴敏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-271713
公開番号(公開出願番号):特開2006-084994
出願日: 2004年09月17日
公開日(公表日): 2006年03月30日
要約:
【課題】耐擦傷性および帯電防止性に優れた薄膜積層型のNDフィルタを提供する。【解決手段】光吸収膜3,5と誘電体膜2,4,6を透明基材1上に積層したNDフィルタにおいて、積層2〜6の表面を被覆するように、炭素膜7が形成されている。炭素膜7は、室温から150°C以下の成膜温度で形成されている。光吸収膜3,5は、金属と金属化合物の混合物からなり、金属原料が、Ti,Cr,Ni,NiCr,NiFe及びNiTiから選択される。誘電体膜2,4,6はSiO2又はAl2O3を用いる。透明基材1は、可視域において透明な樹脂製のフィルムからなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光吸収膜と誘電体膜を透明基材上に積層したNDフィルタにおいて、
前記積層の表面を被覆するように、炭素膜が形成されていることを特徴とするNDフィルタ。
IPC (3件):
G02B 5/00
, G02B 5/28
, G03B 9/02
FI (3件):
G02B5/00 A
, G02B5/28
, G03B9/02 A
Fターム (10件):
2H042AA06
, 2H042AA11
, 2H042AA22
, 2H048GA04
, 2H048GA14
, 2H048GA33
, 2H048GA60
, 2H048GA61
, 2H080AA18
, 2H080AA31
引用特許: