特許
J-GLOBAL ID:200903056244065610
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-269011
公開番号(公開出願番号):特開2007-079294
出願日: 2005年09月15日
公開日(公表日): 2007年03月29日
要約:
【課題】 アルカリ現像性が良好であり、かつ、その硬化物が優れた弾性回復特性を有する感光性樹脂組成物を提供し、さらに、優れた弾性回復特性を有するフォトスペーサの提供を課題とする。【解決手段】 カルボキシル基及び(メタ)アクリロイル基を有する親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、並びに光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物であって、該親水性ポリマー(A)が、不飽和多塩基酸無水物を必須構成単量体とする共重合体(D)と、1分子中に水酸基、1級アミノ基および2級アミノ基から選ばれる少なくとも1種の官能基並びに(メタ)アクリロイル基を有する化合物(E)とを反応させて得られるポリマーである、アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物(Q)である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
カルボキシル基及び(メタ)アクリロイル基を有する親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、並びに光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物であって、該親水性ポリマー(A)が、不飽和多塩基酸無水物を必須構成単量体とする共重合体(D)と、1分子中に水酸基、1級アミノ基および2級アミノ基から選ばれる少なくとも1種の官能基並びに(メタ)アクリロイル基を有する化合物(E)とを反応させて得られるポリマーである、アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物(Q)。
IPC (2件):
FI (2件):
G03F7/038 501
, G02F1/1339 500
Fターム (19件):
2H025AA04
, 2H025AA13
, 2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC54
, 2H025BC81
, 2H025BC82
, 2H025BC85
, 2H025CA00
, 2H025FA17
, 2H089LA09
, 2H089MA04X
, 2H089NA14
, 2H089NA17
, 2H089PA06
, 2H089QA14
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (10件)
全件表示
前のページに戻る