特許
J-GLOBAL ID：200903056291852000

ダイナミックバーンイン装置用アダプタ・カード

発明者：
前崎 義博

前崎 義博 について

, 
勅使河原 寛

勅使河原 寛 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-357317
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156537
出願日： 2001年11月22日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 高速、高機能な半導体装置を短時間でバーンインすることができるバーンイン装置用アダプタ・カードを提供すること。【解決手段】 発振回路1aと波形整形回路1b等を有するアダプタ・カード10を、バーンイン装置のバックボードに設けられた信号発生器とバーンインカードの間に取り付け可能とする。発振回路1aは、接続端子4から入力されるクロツク信号より周波数が高く、互いに異なった周波数を持つ複数のクロツク信号を発生する。発振回路1aが出力するクロツク信号は周波数制御スイッチ2により選択されコネクタ5から出力される。波形整形回路1bは、接続端子4から入力される上記バーンイン用の信号を、上記クロツク信号に同期したバーンイン用の信号に変換する。波形整形回路1bの出力は、信号パスを切り替えるための制御スイッチ3を介してコネクタ5から出力される。
請求項（抜粋）：
バーンイン装置のバックボードに設けられた信号発生器が出力するクロツク信号とバーンイン用の信号を、バーンイン槽内に収納されたバーンインカードに装着された半導体装置に入力し、半導体装置のバーンインを行うダイナミック・バーンイン装置に用いられ、上記信号発生器とバーンインカードとの間に取り付けられるアダプタ・カードであって、上記アダプタ・カードは、上記信号発生器に接続するための接続端子と、上記バーンインカードを装着するためのコネクタと、上記接続端子から入力される上記クロツク信号に同期し、上記クロツク周波数より周波数が高く、互いに異なった周波数を持つ複数のクロツク信号を発生する発振回路と、上記発振回路が出力する複数のクロツク信号の内、バーンインカードに出力するクロツク信号を選択するための周波数制御スイッチと、上記接続端子から入力される上記バーンイン用の信号を、上記周波数制御スイッチにより選択されたクロツク信号に同期したバーンイン用の信号に変換する波形整形回路とを備え、上記周波数制御スイッチにより選択されたクロツク信号、および上記波形整形回路の出力信号を上記コネクタを介してバーンインカードに出力することを特徴とするダイナミックバーンイン装置用アダプタ・カード。
IPC (4件)：
G01R 31/28 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/30 ,  H01R 13/70
FI (4件)：
G01R 31/26 H ,  G01R 31/30 ,  H01R 13/70 ,  G01R 31/28 S
Fターム (24件)：
2G003AA08 ,  2G003AC01 ,  2G003AE03 ,  2G003AE06 ,  2G003AF05 ,  2G003AF06 ,  2G003AG08 ,  2G003AH04 ,  2G132AA08 ,  2G132AB03 ,  2G132AD07 ,  2G132AE06 ,  2G132AE11 ,  2G132AF10 ,  2G132AG01 ,  2G132AG08 ,  2G132AL09 ,  5E021FA05 ,  5E021FA11 ,  5E021FB02 ,  5E021FB30 ,  5E021FC40 ,  5E021MA19 ,  5E021MB20
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特開昭63-040877
  • IC評価装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-250367   出願人：株式会社小野測器, 株式会社電子技研
  • 半導体装置の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-192460   出願人：株式会社日立製作所
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