洗浄方法およびその装置

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出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-191202
公開番号（公開出願番号）：特開2003-001208
出願日： 2001年06月25日
公開日（公表日）： 2003年01月07日
要約：

【要約】【課題】洗浄用溶媒中のごみなどの微細粒子を除去することが困難であり、また溶媒の粒径を小さくすることが難しいため、被洗浄物を傷つけることがあったという課題を解決する。【解決手段】溶媒(CO2)の気体をラインフィルタに通してごみなどの粒子を除去し、ノズルから噴射して固体粒子または液滴に変換して被洗浄物に噴射して粒子または有機物を洗浄するようにした。ノズルと被洗浄物の間のギャップを調節することにより、溶媒を固体粒子または液滴状にできるので、汚れの程度に応じて最適の溶媒の状態を選択することができる。また溶媒中のごみ等の粒子をフィルタで容易に除くことができるので、高価な純度の高い溶媒を使用しなくてもよくなり、ランニングコストを低減することができる。

請求項（抜粋）：

溶媒をノズルから被洗浄物に噴射して洗浄する洗浄方法において、ノズルと被洗浄物との間の距離を制御することにより、前記被洗浄物に到達する前記溶媒の状態を調節するようにしたことを特徴とする洗浄方法。

IPC (6件)：

B08B 7/00 , B08B 5/02 , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 643 , H01L 21/304 , H05F 3/06

FI (6件)：

B08B 7/00 , B08B 5/02 Z , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 643 A , H01L 21/304 643 C , H05F 3/06

Fターム (14件)：

2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 3B116AA02 , 3B116AA03 , 3B116AB14 , 3B116AB33 , 3B116AB42 , 3B116BB44 , 3B116BC00 , 3B116CD43 , 5G067AA41 , 5G067AA59 , 5G067DA24

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-130921
高さの低いスス吹きノズル
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-247086 出願人：ザバブコックアンドウィルコックスカンパニー
二重ジェットスプレー洗浄方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-093581 出願人：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー

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