特許
J-GLOBAL ID：200903056441373148

蒸着用治具

発明者：
小野 智宏

小野 智宏 について

, 
渡辺 俊介

渡辺 俊介 について


出願人/特許権者：
日本精機株式会社

日本精機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-023485
公開番号（公開出願番号）：特開2004-232050
出願日： 2003年01月31日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】被蒸着部材への蒸着位置精度を高めることが可能な蒸着用治具を提供する。【解決手段】蒸着材料4の蒸発によって透光性基板10に所定の蒸着パターンを形成してなる複数の開口部15と透光性基板10への前記蒸着パターンの形成を阻止するマスク部16とを有する蒸着マスク12と、この蒸着マスク12を支持するマスクホルダ13と、蒸着マスク12とマスクホルダ13との間に狭持され開口部15に対応する複数の開口窓部24とマスク部16の撓みを防止する撓み防止部23とを有する補強部材14と、を備えた。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
蒸着材料の蒸発によって被蒸着部材に所定の蒸着パターンを形成してなる複数の開口部と前記被蒸着部材への前記蒸着パターンの形成を阻止するマスク部とを有する蒸着マスクと、 この蒸着マスクを支持するマスクホルダと、 前記蒸着マスクと前記マスクホルダとの間に狭持され前記開口部に対応する複数の開口窓部と前記マスク部の撓みを防止する撓み防止部とを有する補強部材と、 を備えたことを特徴とする蒸着用治具。
IPC (3件)：
C23C14/24 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (3件)：
C23C14/24 G ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (7件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 蒸着マスク
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-301293   出願人：北陸電気工業株式会社
  • 真空成膜用マスク
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-139346   出願人：富士電機株式会社
  • 有機電界発光装置の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-286466   出願人：東レ株式会社

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