走査型透過電子顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-131572
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335172
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】電磁場分布の空間変化が場所により大きく異なる試料を観察した場合でも、視野の各部分に適したコントラストで像を得ることができる顕微鏡を提供する。【構成】走査型透過電子顕微鏡に、電子線を分離するバイプリズム、電子線の干渉縞の透過できるスリット、および電子線の強度および偏向を検出できる検出器を付加した。【効果】 1つの顕微鏡を走査ローレンツ電子顕微鏡と走査干渉電子顕微鏡として使うことができ、両者を使いわけることにより、視野の各部分に適したコントラストで像を得ることができる。

請求項（抜粋）：

真空中で電子源から取り出した電子線を、2つ以上に分離する手段、分離した電子線を試料面上に収束する手段、収束した電子線を走査する手段、試料面を通過した電子線を検出する手段を備えた走査型透過電子顕微鏡において、電子線を検出する手段を、スリットと、電子線の位置と強度を検出できる機能を備えた検出器の組合せで構成したことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/26 , H01J 37/04 , H01J 37/09 , H01J 37/244

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-197050
特開平4-206132
特開平3-081939

全件表示

前のページに戻る