特許
J-GLOBAL ID：200903056610690565

極端紫外光源装置

発明者：
東口 武史

東口 武史 について

, 
窪寺 昌一

窪寺 昌一 について


出願人/特許権者：
国立大学法人 宮崎大学

国立大学法人 宮崎大学 について


代理人 (1件)： 田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-342700
公開番号（公開出願番号）：特開2006-156577
出願日： 2004年11月26日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】 液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に回収されずに真空容器内に飛散して真空容器内の真空度が低下するのを防止するとともに、前記液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に付着してつらら形状の氷に成長するのを防止すること。【解決手段】 プラズマ発光光源装置1のレーザ光照射位置A1を通過した液体ターゲットTが進入する液体ターゲット回収用の内側回収筒9と、前記内側回収筒9の外周面を囲むように配置された外側回収筒13とを有する液体ターゲット回収筒9,13と、前記液体ターゲット回収筒9,13回収ノズル加熱装置H1,H2と、前記内側回収筒9の内部R1の気体を排気する内側回収筒排気装置S1と、前記内側回収筒9の外側面と前記外側回収筒13の内側面との間の円筒状空間R2の気体を排気する円筒状空間排気装置S2とを備えた液体ターゲット回収装置K。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
下記の構成要件(A01)〜(A06)を備えたプラズマ発光光源装置、 (A01)真空状態に保持されるプラズマ発光室、 (A02)前記真空プラズマ発光室内のレーザ光照射位置に液体ターゲットを吐出する液体ターゲット吐出ノズル、 (A03)前記液体ターゲット吐出ノズルに対向する位置に配置され且つ前記液体ターゲット吐出ノズルから吐出されて前記レーザ光照射位置を通過した液体ターゲットが進入する液体ターゲット回収用の内側回収筒と、前記内側回収筒の外周面を囲むように配置された外側回収筒とを有する液体ターゲット回収筒、 (A04)内側回収筒の先端部を加熱する内側回収筒加熱装置、 (A05)前記内側回収筒の内部の気体を排気する内側回収筒排気装置、 (A06)前記内側回収筒の外側面と前記外側回収筒の内側面との間の円筒状空間の気体を排気する円筒状空間排気装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G21K 5/08
FI (2件)：
H01L21/30 531S ,  G21K5/08 Z
Fターム (1件)：
5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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