ヒータプレート及びヒータプレートの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川和高穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-295702
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108011
出願日： 2004年10月08日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】ヒータプレートの熱応力による変形を防止するとともに、熱伝導性が良く、耐久性の高いヒータプレート及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のヒータプレート1は、アルミニウム又はアルミニウム合金基部材2に内部部品としてシースヒータ3が収納され、その上から接合用アルミニウム又はアルミニウム合金部材4を鍛圧圧接して密封した構造を持ち、2枚のプレートを接合する従来の方法に比べて、コストや生産性等の点で優れ、半導体製造装置や液晶製造装置等の各種薄型ディスプレー(FPD)製造装置のヒータプレートとして使用可能である。また、PTPシートの製造装置等のヒータプレート一般に用いることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルミニウム又はアルミニウム合金基部材に設けた溝部にシースヒータを収納し、さらに、接合用アルミニウム又はアルミニウム合金部材を前記溝部に嵌合し、前記接合用アルミニウム又はアルミニウム合金部材と前記アルミニウム又はアルミニウム合金基部材とを鍛圧圧接により金属接合したヒータプレート。

IPC (3件)：

H05B 3/20 , H01L 21/02 , H05B 3/68

FI (3件)：

H05B3/20 398 , H01L21/02 Z , H05B3/68

Fターム (29件)：

3K034AA02 , 3K034AA12 , 3K034AA16 , 3K034AA31 , 3K034BB02 , 3K034BB14 , 3K034BC08 , 3K034BC09 , 3K034BC15 , 3K034FA17 , 3K034FA36 , 3K034FA37 , 3K034HA10 , 3K034JA01 , 3K034JA07 , 3K034JA10 , 3K092PP20 , 3K092QA05 , 3K092RF03 , 3K092RF09 , 3K092RF19 , 3K092RF25 , 3K092SS05 , 3K092TT06 , 3K092TT07 , 3K092TT20 , 3K092VV22 , 3K092VV26 , 3K092VV31

引用特許：

出願人引用 (3件)

アルミニウム又はアルミニウム合金部材からなる密封体、並びに半導体製造装置又は薄型ディスプレ-製造装置の基板ホルダ-及びそれを製造する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-002689 出願人：古河電気工業株式会社
金属部材を接合したヒートプレート及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-121072 出願人：古河電気工業株式会社
ヒータユニット及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-046004 出願人：日本発条株式会社

審査官引用 (7件)

ヒータープレート及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-362448 出願人：京浜測器株式会社
シースヒーターを配設したヒータープレートの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-071578 出願人：古河電気工業株式会社
特開昭60-258890

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