ガラス微粒子堆積体の製造装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小宮良雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188829
公開番号（公開出願番号）：特開2001-019437
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】チャンバ内に浮遊しているガラス微粒子を効率よくかつ確実に排出しつつ、ガラス微粒子堆積体を製造する装置を提供する。【解決手段】ガラス微粒子堆積体の製造装置は、水平に配置され回転している始発棒12にガラス微粒子を吹き付けるバーナ7が、始発棒12と平行に往復動を繰り返して、ガラス微粒子の堆積体2を製造する装置であって、始発棒12およびバーナ7を取り囲み両端を封鎖した筒状のチャンバ3が、その棟に始発棒12と平行な排気用溝17を有し、排気用溝17を介してチャンバ3の内部と外界とが通じている。

請求項（抜粋）：

水平に配置され回転している始発棒にガラス微粒子を吹き付けるバーナが、該始発棒と平行に往復動を繰り返して、該ガラス微粒子の堆積体を製造する装置であって、該始発棒および該バーナを取り囲み両端を封鎖した筒状のチャンバが、その棟に該始発棒と平行な排気用溝を有し、該排気用溝を介して該チャンバの内部と外界とが通じているガラス微粒子堆積体の製造装置。

IPC (3件)：

C03B 8/04 , G02B 6/00 356 , C03B 37/018

FI (3件)：

C03B 8/04 C , G02B 6/00 356 A , C03B 37/018 C

Fターム (5件)：

4G014AH15 , 4G014AH19 , 4G021EA03 , 4G021EB13 , 4G021EB21

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-289438
特開昭59-190232
ガラス母材の製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-269662 出願人：株式会社フジクラ

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