特許
J-GLOBAL ID：200903056861542913
板状部材の分割装置及び分割方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-179577
公開番号（公開出願番号）：特開2006-352031
出願日： 2005年06月20日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】 個片化後の各チップの相互間隔を適正に保ち、チップ相互の接触を回避して損傷を防止することのできる板状部材の分割装置及び分割方法を提供すること。【解決手段】 紫外線線硬化型の接着剤層USを有するダイシングテープDT又は保護シートPSに貼付されたウエハWを切削若しくは研削して個片化する装置であり、同装置は、ウエハWを支持するテーブル11と、ウエハWを切削するロータリーカッター13若しくは研削するグラインダー50と、これに併設された紫外線照射装置15とを含む。切削又は研削によって表出する紫外線硬化型の接着剤層USは紫外線照射装置15によって硬化部分US1を形成し、当該硬化部分US1の存在によって個片化した後のチップC間の隙間を一定に保つようになっている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
エネルギー線硬化型の接着シートに貼付された板状部材を切削して当該板状部材を個片化する板状部材の分割装置において、
前記板状部材を支持するテーブルと、当該テーブルに支持された板状部材を切削するカッターと、このカッターに併設されたエネルギー線照射装置とを備え、
前記エネルギー線照射装置は、前記カッターによる切削で切削後に表出する接着シート部分にエネルギー線を照射して当該接着シート部分を硬化させることを特徴とする板状部材の分割装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301
, H01L 21/304
H01L21/78 F
, H01L21/304 631
, H01L21/78 M
, H01L21/78 Q
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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