特許
J-GLOBAL ID：200903056928683584

基板搬送装置、及び、基板搬送方法

発明者：
小沢 津登務

小沢 津登務 について

, 
木内 智一

木内 智一 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-289214
公開番号（公開出願番号）：特開2009-208964
出願日： 2008年11月11日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：
【課題】基板搬送装置及び基板搬送方法において、基板を効率的に短時間で高精度に搬送及び検査すると共に基板搬送装置の設置面積を小さくする。【解決手段】基板(2)を浮上させる浮上ステージ3と、基板(2)の搬送方向(矢印D)に一直線状に延びるガイドレール4と、このガイドレール4に沿って互いに独立して移動可能な複数の基板搬送部5,6とを備え、複数の基板搬送部5,6は、搬送方向(矢印D)の上流側に搬送された基板(2)を受け取ると共にこの受け取った基板(2)を搬送方向(矢印D)の下流側に搬送する第1基板搬送部5と、この第1基板搬送部5から基板(2)を受け取ると共にこの受け取った基板(2)を搬送方向(矢印D)の下流側に搬送する第2基板搬送部6とを含む構成とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板を浮上させる浮上ステージと、 前記基板の搬送方向に一直線状に延びるガイドレールと、 該ガイドレールに沿って互いに独立して移動可能な複数の基板搬送部とを備え、 前記複数の基板搬送部は、前記搬送方向の上流側に搬送された前記基板を受け取ると共に該受け取った基板を前記搬送方向の下流側に搬送する第1基板搬送部と、該第1基板搬送部から前記基板を受け取ると共に該受け取った基板を前記搬送方向の下流側に搬送する第2基板搬送部とを含む、 ことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/677 ,  B65G 51/03
FI (3件)：
B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A ,  B65G51/03 C
Fターム (20件)：
5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA14 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA42 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA62 ,  5F031HA57 ,  5F031HA60 ,  5F031JA04 ,  5F031JA40 ,  5F031LA08 ,  5F031LA12 ,  5F031MA13 ,  5F031MA33 ,  5F031PA13 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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