特許

J-GLOBAL ID：200903057036073311

探針装置

発明者： 松本 卓也 ,  川合 知二
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構
代理人 (3件)： 鈴江 武彦 ,  和田 祐造 ,  須田 浩史
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005005583
公開番号（公開出願番号）：WO2006-001108
出願日： 2005年03月25日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

試料(20)の表面に対向配置される(探針10a)を備えたカンチレバー(10)を所定の周波数で自励振動させながら、間欠的に励起光を前記試料(20)に照射して、前記試料(20)を観察する探針装置において、前記探針(10a)と前記試料(20)との距離が所定の距離以下のときに、所定のタイミングで前記励起光を前記試料(20)に照射するようにした。

請求項（抜粋）：

試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを共振周波数で自励振動させながら、間欠的に励起光を前記試料に照射して、前記試料を観察する探針装置は、 前記探針と前記試料との距離が所定の距離以下のときに、前記励起光を前記試料に照射するようにした。

IPC (1件)：

G01N 13/16

FI (1件)：

G01N13/16 A

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 探針装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-245810   出願人：大阪大学長