特許
J-GLOBAL ID：200903022281888730
探針装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-245810
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085320
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】改良された探針装置、更には、ナノメートルスケールでの物質の電子状態測定手法及びその画像化手法を提供すること。【解決手段】試料(20)の表面に対向配置される探針(10a)を備えたカンチレバー(10)と、前記カンチレバーの振動振幅値をフィードバックすることにより所定の周波数で前記カンチレバーを自励振動させる手段と(11、31、32、40、41、42、43)、前記試料又は前記探針にバイアスを印加する手段(22)と、前記カンチレバーと前記試料間に働く電荷移動力に起因する周波数シフトを測定する手段(44)と、を備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーと、
前記カンチレバーの振動振幅値をフィードバックすることにより所定の周波数で前記カンチレバーを自励振動させる手段と、
前記試料又は前記探針にバイアスを印加する手段と、
前記カンチレバーと前記試料間に働く電荷移動力に起因する周波数シフトを測定する手段と、を備えたことを特徴とする探針装置。
IPC (3件)：
G01N13/16
, G12B21/12
, G12B21/20
G01N13/16 A
, G12B1/00 601F
, G12B1/00 601G
