特許
J-GLOBAL ID：200903057055369485
液晶表示素子用配向膜の検査方法及び液晶表示素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164577
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014548
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示素子に用いる配向膜に配向処理を行った後に、この配向膜の良品、不良品を判定する方法を提供する。【解決手段】 上記配向処理を行った配向膜を有する基板11に対して、CCDカメラ12を正面且つ垂直に配置し、光源にファイバー光源用ハロゲンランプ、平行光作製のためのフレネルレンズ22を使用し平行光照射光源16として、基板11に対して斜め45度、仰角(斜め下方)30度に配置する。CCDカメラ12と基板11の間に視野レンズ21として凸レンズを使用して、その焦点にCCDカメラ12を配置する。基板11に光源16の平行光26を照射し、基板11表面のラビング処理による傷23の主散乱光25をCCDカメラ12にて撮影し、その画像データを画像処理装置14に取り込み、2次元フーリエ変換処理ソフト15を使用して解析検出する。
請求項（抜粋）：
透明電極を設けた透明基板上に形成された有機高分子材料からなる配向膜を配向処理した後、該基板の配向膜の全体または一部に光を照射し、その散乱光をカメラにて撮像し、その画像データを画像処理した後、良品、不良品を判定することを特徴とする液晶表示素子用配向膜の検査方法。
IPC (6件)：
G01N 21/88
, C09K 19/08
, G01B 11/30
, G01M 11/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1337 525
G01N 21/88 D
, C09K 19/08
, G01B 11/30 Z
, G01M 11/00 T
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1337 525
