特許
J-GLOBAL ID:200903057061863696
電子放出源の製造方法、電子放出源及び蛍光発光型表示器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大塚 秀一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-098386
公開番号(公開出願番号):特開2000-294119
出願日: 1999年04月06日
公開日(公表日): 2000年10月20日
要約:
【要約】【課題】 低電圧で高効率な電子放出を可能にすると共に、電子放出量のバラツキを抑えること。【解決手段】 絶縁基板101上にカソード配線102を形成し、カソード配線102に連結してカソード電極103を形成する。その後、ペースト状のカソード電極103にカーボンナノチューブを含むカーボン物質を被着する。次に、基板501に被着形成された電界印加電極502とカソード電極103との間に電界を印加した状態でカソード電極103を乾燥させることにより、カーボンナノチューブ104の多くがカソード電極103に対して垂直方向に配向する。その後、ゲート電極等を形成することにより電子放出源が完成する。
請求項(抜粋):
カソード電極とゲート電極間に電子放出素子を配設して成る電子放出源の製造方法において、絶縁基板上にカソード電極を形成する工程と、分散させたカーボンナノチューブを含むカーボン物質を前記カソード電極に被着する工程と、前記カソード電極に対して電界を略垂直方向に印加した状態で前記カーボンナノチューブを含むカーボン物質を前記カソード電極に固定させて電子放出素子を形成する工程とを備えて成ることを特徴とする電子放出源の製造方法。
IPC (4件):
H01J 9/02
, H01J 1/304
, H01J 29/04
, H01J 31/12
FI (4件):
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
Fターム (6件):
5C031DD09
, 5C031DD19
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EG02
, 5C036EG12
引用特許:
引用文献:
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