導波路およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029851
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231152
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】低損失特性を有し、且つ、長期的損失増大要因が除かれた高比屈折率差(高△)導波路およびその製造方法を可能とする。【解決手段】高屈折率ガラスコアを低屈折率ガラス層で埋込んだ高比屈折率差(高△)導波路において、上記高屈折率ガラスコアとして低濃度フッ素添加SiO2 ガラスを用い、上記低屈折率ガラス層として高濃度フッ素添加SiO2 ガラスを用いる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された導波路であって、高濃度フッ素添加SiO2 層の中に、略矩形状の断面を有するコアが埋め込まれた構造を有し、且つ、上記コアが低濃度フッ素添加SiO2 から成る導波路。

IPC (2件)：

G02B 6/12 , G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 N , G02B 6/12 M

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-128808
特開平4-128704
光導波路チップの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-086268 出願人：株式会社サムコインターナショナル研究所

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