定圧レギュレータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328512
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141083
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】腐食性の高いまた発塵を嫌う薬液ラインに使用できる高精度の定圧レギュレータを提供する。【解決手段】第1弁室9と流体流入口7を有する本体1と、第2弁室10と流体流出口8を有する蓋体2と、第1弁室の上部周縁に固定された第1ダイヤフラム3と、本体と蓋とによって挟持された第2ダイヤフラム4と、第1及び第2のダイヤフラムの中央に設けた環状接合部15,16に接合され軸方向に移動自在のスリーブ5と、第1弁室の底部に固定されスリーブ下端部との間に流体制御部20を形成するプラグ6とからなり、本体の内周面と第1及び第2のダイヤフラムとに包囲された気室11を有し、気室に連通するエア供給口12が設けられ、第2ダイヤフラム4の受圧面積が第1ダイヤフラム3の受圧面積より大となっている。

請求項（抜粋）：

内部に第一の弁室、第一の弁室の上部に設けられた段差部及び第一の弁室と連通する流体流入口を有する円筒状の本体と、第二の弁室とそれに連通する流体流出口とを有し本体上部に接合される蓋体と、周縁部に設けられた環状突部が第一の弁室の上部周縁に設けられた接合部と接合された第一のダイヤフラムと、周縁部に設けられた環状突部が本体と蓋体とによって挟持された第二のダイヤフラムと、第一及び第二のダイヤフラムの中央に設けられた両環状接合部に接合され軸方向に移動自在となっているスリーブと、第一の弁室の底部に固定され該スリーブの下端部との間に流体制御部を形成しているプラグとからなり、また本体の段差部の内周面と第一及び第二のダイヤフラムとに包囲された気室を有し、第二のダイヤフラムの受圧面積が第一のダイヤフラムの受圧面積より大きく構成され、前記気室に連通するエア供給口が本体に設けられていることを特徴とする定圧レギュレータ。

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-248076
流体コントロールバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-106056 出願人：アドバンス電気工業株式会社
自動弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-166531 出願人：旭有機材工業株式会社

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