特許
J-GLOBAL ID：200903057170208630

近接場用光プローブの開口測定装置及び方法

発明者：
禹 起 命

禹 起 命 について

, 
ペトロブ ニコライ

ペトロブ ニコライ について

, 
李 明 馥

李 明 馥 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-268911
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139514
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】【課題】 近接場用光プローブの開口測定装置及びその測定方法を提供する。【解決手段】 近接場用光プローブの開口測定装置は、光プローブに光を照射する光源と、光プローブの前方に位置し、光プローブを通過した光を受光して光度を検出する光検出器と、光源と光検出器との間に設けられ、光プローブを通過した光のうち特定モードの光だけを透過させるフィルタとを具備する。これにより、光プローブを損傷させずにリアルタイムで正確に光プローブの開口直径を測定できる。
請求項（抜粋）：
近接場用光プローブの開口を測定する装置において、前記光プローブに光を照射する光源と、前記光プローブの前方に位置し、前記光プローブを通過した光を受光して光度を検出する光検出器と、前記光源と前記光検出器との間に設けられ、前記光プローブを通過した光のうち特定モードの光だけを透過させるフィルタとを具備することを特徴とする開口測定装置。
Fターム (10件)：
2F065AA27 ,  2F065BB08 ,  2F065CC23 ,  2F065FF00 ,  2F065GG06 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL01 ,  2F065LL02 ,  2F065LL21
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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