X線分光素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-178005
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352297
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】特定の元素に起因する特定の特性X線を取り出す場合に、特定の元素よりも原子番号が1または2だけ小さい元素を人工多層膜と組み合わせるようにして、高反射でかつ高分解能のX線分光素子を得る。【解決手段】 X線分光素子の人工多層膜の部分は、第1層10がタングステン(W)、第2層12が炭化ホウ素(B4C)である。第1層10と第2層12の厚さはそれぞれ約3〜4ナノメータであり、これを50〜200周期だけ積層してある。この人工多層膜の表面にニッケルの表面層14を形成してある。このX線分光素子はCuKα線だけを取り出すようにしたものであり、ニッケル層14を形成することにより、CuKα線よりも短波長側のX線をニッケル層14で効果的に吸収できる。

請求項（抜粋）：

特定の元素に起因する特定の特性X線を取り出すようにしたX線分光素子において、このX線分光素子を人工多層膜で作り、その人工多層膜の表面に、前記特定の元素よりも原子番号が1または2だけ小さい元素からなる表面層を形成したことを特徴とするX線分光素子。

引用特許：

審査官引用 (5件)

多層膜X線反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-033249 出願人：日本電信電話株式会社
特開平2-146000
軟X線用多層膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-142295 出願人：キヤノン株式会社

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