特許
J-GLOBAL ID：200903057232101498
自動車用プラスチック部品の保護膜形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木 秀人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-162469
公開番号（公開出願番号）：特開2000-345347
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 多種多様で複雑な三次元形状のプラスチック部品に対して、有機溶剤等を無駄に大気中に放出することなく、耐擦傷性、紫外線カット特性を有する均一な膜厚で良質な保護膜を形成する。【解決手段】 プラズマ化学蒸着装置において、反応室内1に設けられたカソード2の少なくとも一部の表面形状は自動車用ヘッドランプレンズ等のプラスチック部品10の表面形状に一致した表面形状とする。カソード2にプラスチック部品10を両者の形状の一致する表面が接する状態で取り付け、反応室1内に水素ガスと保護膜の原料ガスであるヘキサメチルジシラン(HMDS)を導入するとともに、カソード2と反応室間1に高周波電力を供給することによって、プラスチック部品10表面に保護膜を蒸着する。
請求項（抜粋）：
反応室内に設けられたカソードの少なくとも一部の表面形状を薄い自動車用プラスチック部品の表面形状と一致した形状としたプラズマ化学蒸着装置を用い、前記カソードに前記プラスチック部品を両者の形状の一致する表面が接する状態で取り付け、前記反応室内に水素ガスと有機シリコンガスを導入するとともに、反応室とカソード間に高周波電力を供給してプラズマ化学蒸着を行うことを特徴とする自動車用プラスチック部品の保護膜形成方法。
IPC (2件)：
C23C 16/50
, C08J 7/00 306
C23C 16/50 B
, C08J 7/00 306
4F073AA07
, 4F073BA26
, 4F073BB05
, 4F073CA01
, 4F073CA70
, 4F073CA72
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA16
, 4K030AA17
, 4K030BA37
, 4K030CA07
, 4K030FA03
, 4K030JA06
, 4K030LA11
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
引用文献：
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