特許
J-GLOBAL ID：200903057312633199

走査型プローブ顕微鏡システム

発明者：
服部 達哉

服部 達哉 について

, 
銭 朴

銭 朴 について


出願人/特許権者：
本田技研工業株式会社

本田技研工業株式会社 について


代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-197287
公開番号（公開出願番号）：特開2006-017638
出願日： 2004年07月02日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】 複数の試料を自動的に処理し得る走査型プローブ顕微鏡システムを提供する。【解決手段】 中空探針3と、中空探針3の後端32に接続されたチューブ4と、中空探針3の下に設けられた支持台1と、支持台1に固定された基板2及び中空探針3の洗浄器5とを具備する走査型プローブ顕微鏡システムであって、試料Sがチューブ4及び中空探針3を通過し、基板2及び洗浄器5は支持台1によって動かされて、それぞれ中空探針3と対向する走査型プローブ顕微鏡システム。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
垂直に支持された中空探針と、前記中空探針の上端に接続されたチューブと、前記中空探針の下に設けられた支持台と、前記支持台に固定された基板及び前記中空探針の洗浄器とを具備する走査型プローブ顕微鏡システムであって、試料は前記チューブ及び前記中空探針を通過し、前記基板及び前記洗浄器は前記支持台によって動かされて、それぞれ前記中空探針の下端の下に位置することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡システム。
IPC (2件)：
G01N 13/10 ,  G01N 13/16
FI (2件)：
G01N13/10 A ,  G01N13/16 A
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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