特許
J-GLOBAL ID：200903057374260208

基板搬送装置及び基板処理装置

発明者：
坂井 光広

坂井 光広 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-350880
公開番号（公開出願番号）：特開2007-158005
出願日： 2005年12月05日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】処理部に対して、被処理基板を搬入・搬出する機構の安全性および効率性を改善し、機械振動等の影響を与えないようにすること。【解決手段】レジスト塗布処理の終了後に、両搬送機構120A,120Bがステージ80近傍に設定された往動位置まで往動し、双方の搬送ブリッジ126A,126Bが固定搬送路32A,32Bの下からステージ80側へ抜け出して搬送方向におけるステージ80の中心位置で互いに先端を付き合わせるように左右両側からステージ80上方に架かる。この往動位置で、両搬送ブリッジ126A,126Bを介して搬入側の固定搬送路32Aと搬出側の固定搬送路32Bとが連結され、第1の平流し搬送路32が形成される。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
所定位置で被処理基板に所定の処理を施す処理部に対して、処理前の前記基板を搬入し、処理済の前記基板を搬出するための基板搬送装置であって、 前記基板を平流しで搬送するための第1の搬送体を敷設し、水平な第1の方向において前記処理部の一方のサイドに終端を有する第1の固定搬送路と、 前記基板を平流しで搬送するための第2の搬送体を敷設し、前記第1の方向において前記処理部の他方のサイドに始端を有する第2の固定搬送路と、 前記基板を平流しで搬送するための第3の搬送体を取り付け、前記処理部に前記基板を搬入し、または前記処理部から前記基板を搬出するための前記第1の固定搬走路の終端または前記第2の固定搬走路の始端と接続して前記処理部の上方に架かるブリッジ往動位置と、前記処理部における基板処理の際に退避するための前記第1または第2の固定搬送路の下に潜るブリッジ復動位置との間で移動可能に構成された可動搬送ブリッジと を有し、前記処理部に前記基板を搬入するために前記第1の搬送体と前記第3の搬送体とを連動させて駆動し、前記ステージから前記基板を搬出するために前記第2の搬送体と前記第3の搬送体とを連動させて駆動する基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  B08B3/02 C ,  H01L21/30 502J ,  H01L21/30 562
Fターム (31件)：
2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB14 ,  3B201BA02 ,  3B201BB22 ,  3B201BB82 ,  3B201BC01 ,  3B201CC12 ,  3B201CD43 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA12 ,  5F031GA53 ,  5F031HA33 ,  5F031HA60 ,  5F031KA02 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD08 ,  5F046JA19 ,  5F046LA11
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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