基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193379
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026550
出願日： 1997年07月04日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】支持部材上の基板のたわみによる不都合が生じない基板搬送装置を提供すること。【解決手段】基板Gを支持する支持部材43a,43bを移動させることにより、基板Gの搬送を行う基板搬送装置18,19において、支持部材43a,43bは、基板の外側を支持する一対の外側支持部53と、これら外側支持部の間に設けられた少なくとも1つの内側支持部54とを有する。

請求項（抜粋）：

基板を支持する支持部材を備え、前記支持部材を移動させることにより、基板の搬送を行う基板搬送装置であって、前記支持部材は、基板の外側を支持する一対の外側支持部と、これら外側支持部の間に設けられた少なくとも1つの内側支持部とを有することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 E

引用特許：

審査官引用 (9件)

回転式基板乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-199104 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平2-082550
被処理体の搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-120866 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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